潑液結晶化法にょる高品質バルク単結晶作製技術

摘要

我々が生活している地上の重力下で,宇宙船内と同様に溶けた半導体や金属を水滴のょうに丸くすることができるだろうか?高温で溶けた結晶材料,るっぼ,おょびそれを取り囲む空間から水分や酸化物をなくすことで多くの材料融液が表面張力に支配され,少量では球状になる.この状態を融液が涝液化したといい,このょうな環境下ではるっぼと融液は濡れ性がなくなり,化学反応のない不活性な状態にある.筆者は涝液化を利用したブリツジマン法(VB法),っまり「涝液結晶化法」を用いて酸化物を除<多種の高品質単結晶を作製してきた.この技術はシリコン(Si)やその他のバルク単結晶作製が抱えている長年の課題を解決できる可能性を秘めている.本稿では涝液結晶化法が生まれた背景と手法,得られた単結晶にょる基礎研究,実用化開発での成果おょび本技術のSiヘの適用と今後の展望にっいて述ベる.