東北大一日本製鋼所＝三菱ケミ力ルが、LPAAT法で2インチ高純度GaNバルク単結晶開発に世界初の成功、6インチを視野に大口径化目指し量産技術開発へ

摘要

東北大学は、日本製鋼所、三菱ケミカルと共同で、窒化ガリウム（GaN）単結晶基板を量産できる、「低圧酸性アモノサーマル」（LPAAT）法プロセスを独自開発し、直径2インチ以上の単結晶生産に成功した。