高品质多晶硅片的制备技术

摘要

本文对影响多晶硅片质量的一系列关键因素进行了系统的研究，结合多晶硅片生产中的铸锭、切片等主要工序，以现有装备为基础，通过工艺优化、部分设备改造升级等措施，开发出了一套适用于规模化生产高品质多晶硅片的实施方案，满足了高效太阳电池市场的紧迫需求，同时降低了生产成本，提高了原料利用率和产品良率。影响高品质铸造多晶硅片质量的关键因素有:硅原料的配比，铸锭炉内温度场分布，砂浆的配比，钢线的张力及速度等。