水素イオンマイクロビームを用いた元素分析技術

摘要

2～3MeV程度の軽イオンビームを用いた元素分析技術は、静電加速器施設などで広く利用されているが、この分析に用いるプローブビームとしてミクロンオーダーの径に集束したマイクロビームを用いた分析方法が近年注目を集めている。 マイクロビームは、ビーム光軸上に対物スリットを挿入して疑似光線とし、この光源からのイオンビームを四重極磁気レンズを用いて、試料上に縮小·投影することで形成される。 また、電磁気的にビームを走査して二次元照射を行うことが可能であり、この走査マイクロビームを用いた元素分析では、二次元分布として試料内の構成元素を像として表示することで、元素間の相関を一目で明らかにできる利点がある。