2枚のスペックルパターンのみを用いたフーリエ変換技術 による電子スペックル干渉法

摘要

粗面に干渉性の強い光が照射されると，散乱した光が複 雑に干渉し合い，スぺックルが発生する.このスぺックル には粗面からの光の位相情報が記録されているので，この 位相情報を用いると粗面の変形計測が可能となる~(1-5)).こ のようなスぺックル干渉計測技術では，TVカメラ技術を 用いて電子スペックル干渉計測（ESPI: electronic speckle pattern interferometry)~(3))が開発され，さらに，縞走査技術~(1.6,7))を用いることによって，光源波長の100分の1を超 える高分解能な計測が実現されている~(4,7-11)).