電子スペックル干渉計測のためのフーリェ変換技術を用いた2枚のスペックルパターンによる空間的縞解析法

摘要

US は，光学系の物体光と参照光の強度の比率を一対一程度に設定 しておくことによって，レーザー強度が低い場合においてもその発 生が抑制されることが分かった．このような条件を用いて位相が凹 凸分布を持つ測定対象においても新しい光学系によって2枚のスペ ックルパターンのみによる縞解析が可能であることを示し，さらに， スペックル干渉計測において問題となる低周波数領域におけるノイ ズ成分を回避するための新しい縞解析技術が提示されている．