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伪散斑图案生成装置、伪散斑图案生成方法、观察装置和观察方法

摘要

伪散斑图案生成装置(1A)包括光源(11)、扩束器(12)和空间光调制器(13)。空间光调制器(13)具有基于从伪随机数图案和相关函数计算的伪散斑图案的强度的调制分布,输入从光源(11)输出而由扩束器(12)放大了光束直径的光,根据调制分布对其输入的光空间地进行调制,输出其调制后的光。由此,实现生成的散斑图案的空间构造或光强度统计分布的设定的自由度高的伪散斑图案生成装置等。

著录项

  • 公开/公告号CN110494795B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浜松光子学株式会社;

    申请/专利号CN201880023641.5

  • 申请日2018-03-26

  • 分类号G02B27/48(20060101);G02B21/06(20060101);G02F1/13(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨琦;黄浩

  • 地址 日本静冈县

  • 入库时间 2022-08-23 12:12:08

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