銅ナノワイヤのEMを初めて動画撮影独自開発のTEM／AFM複合装置を利用次世代ULSIの評価·観察手法として威力

摘要

産業技術総合研究所と筑波大学の研究グループは、電子回路に不具合をもたらすエレクトロマイグレーション（EM）が銅のナノワイヤで発生する過程を動画撮影することに初めて成功した（エレクトロマイグレーションは「今号のキーワード」を参照）。 独自に開発した透過型電子顕微鏡（TEM）と原子間力顕微鏡（AFM）の複合装置（TEM／AFM）を利用した。 ナノワイヤによる配線が予想される次世代の超大規模集積回路（ULSI）の評価·観察手法として威力を発揮しそうだ。