ガラス上におけるNbドープニ酸化チタン薄膜の透明導電性

摘要

二酸化チタン（TiO_2）は工業用材料として，すでに我々の生活に欠かせないものとなっている.TiO_2の高屈折率を利用した白色塗料や，紫外線吸収能力を活用した日焼け止めは日常的に使われており，さらに近年，光触媒や超親水性が注目され実用化が進hでいる．また，エレクトロニクス材料としての研究開発も活発化しており，ゲート絶縁膜や透明強磁性体としての応用が検討されている.母体となるTiは地球上に豊富に存在し（クラーク数第10位），安価かつ安定に供給することが可能である.さらに，TiO_2は毒性が少なく，環境に優しいという特徴を有している.