赤外線センサによるフルスペクトル赤外線分析～進化するウェブゲージングアプリケーション

摘要

赤外線（IR）装置は，赤外光を使って層の厚みを測定するため上記のような負担が不要である。多層ウェブにおけるどの成分にも，その化学構造に固有な赤外線吸収による特定のパターンがある。多層ウェブを通して光源の吸収と反射を測定することでウェブの組成，多層の厚みデータ，水分および他のパラメータを得ることができる。