一种微小型光谱吸收式光波导型中红外气体传感器及其应用

摘要

本发明公开了一种微小型光谱吸收式光波导型中红外气体传感器及其应用，包括气室，入气孔和排气孔，特点是气室内设置有用于输出气体光强信号和气体压强信号的光波导芯片、入射光纤、第一出射光纤和第二出射光纤；光波导芯片包括芯片衬底，芯片衬底上设置有Y型分支光波导，Y型分支光波导的输入端与入射光纤耦合连接，Y型分支光波导的一根输出波导上设置有微环谐振器且Y型分支光波导的相应输出波导的输出端与第一出射光纤耦合连接，Y型分支光波导的另一根输出波导的输出端连接有螺旋形波导，螺旋形波导的输出端与第二出射光纤耦合连接，微环谐振器和螺旋形波导均采用金属辅助硅槽型波导结构，优点是性能稳定，灵敏度高，体积小且易集成。