クリーンルーム環境を定量化する環境センサと環境監視システム

摘要

半導体製造分野における微細化·高集積化，液晶製造分野における高精細化·大型化，医薬品製造分野のGMP，食品製造分野のHACCPなどに従った品質管理の浸透に伴い，クリーンルームの製造環境管理ニーズが拡大している。 なかでも清浄度管理は製品の品質向上，歩留り向上においてきわめて重要な管理項目である。 本稿では，クリーンルームを常時監視し，パーティクルほかの環境データをトレンド表示で可視化可能にしたクリーンルーム環境センサおよびクリーンルーム環境監視システムを製品化したので紹介する。