超精密加工·計測技術の開発--加速管製造技術への適用

摘要

国際協力によって研究が進hでいる次世代の電子·陽電子衝突型加速器で,リニアコライダープロジェクトの主構成機器であるXバンド加速管の開発を高エネルギー加速器研究機構（KEK）と進めている。 このXバンド加速管の製作には，加工から組立，接合にわたって高い精度が要求されている。 特に超精密旋盤による加工ではサブミクロンの精度が要求されており，重要な開発項目となっている。 そのため我々は,加工精度に影響を及ぼすさまざまな誤差要因について研究し，超精密加工技術を確立した。