机译:氮化硅水分渗透阻挡层的低温等离子体辅助原子层沉积
atomic layer deposition; plasma; silicon nitride; moisture permeation barrier layers; ellipsometric porosimetry; calcium test;
机译:氮化硅水分渗透阻挡层的低温等离子体辅助原子层沉积
机译:通过射频远程等离子体原子层沉积法沉积的Al2O3多密度层结构作为透湿屏障
机译:Al_2O_3多密度层结构作为通过射频远程等离子体原子层沉积法沉积的透湿屏障
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:Al2O3的等离子体辅助原子层沉积和聚对二甲苯C双层封装用于慢性植入式电子产品
机译:Al2O3湿气渗透屏障在聚合物上的等离子体辅助原子层沉积