めつき皮膜の水素挙動研究と、シリコン基板への金属微粒子の析出技術

摘要

兵庫県五大学大学院工学研究科物質系工学専攻表面エネルギー化学研究グループは、その前身が発足した1953年から続くめっき研究の伝統を継承しており、無電解めっきを中心とした薄膜形成に関する基礎研究に取り組hでいる。近年は、「めっき膜中水素の存在状態の解析」「シリコン上への貴金属微粒子の析出」を2つの柱として、研究テーマに掲げており、めっき薄膜表面の性質や表面処理プロセスの関係性などの研究成果に注目が集まっている。