...
机译:用于构建微机电结构中的化学传感器的物理原理,分子显示
Институт химической физики им. Н.Н. Семенова РАН";
ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН;
работе ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН;
Институт химическойфизики им. Н.Н. Семенова РАН";
жидкостной датчик; газовый датчик; поверхностные акустические волны; горизонтально-сдвиговая поляризация; пьезоэлектрик;