X線2次元検出器を用いた表面処理膜の残留応力測定

摘要

めっきやPVD、CVDなどのドライコーティングに代表される表面処理膜の残留応力は、膜と基材間の密着性や摩擦摩耗性に密接な係わりがあるが、評価方法が確立できていない。その理由は、表面処理膜が結晶配向性を有するため、結晶の回折条件を原理とするX線応力測定法（sin~2Φ法）では、データ量が不十分となるためである。そこで本研究では、近年注目され、普及してきたX線2次元検出器をCVD－炭化チタン（TiC）膜応力の測定に活用し、広域的な検出を試みた。そして、実際に与えた負荷応力と測定応力の変化量を比較した。その結果、2次元検出器を使った本法に優位性があることがわかった。