直線軌道の並進X線CT装置の提案および応用

摘要

電子部品などの欠陥を非破壊的に検査するX線CT装置において、X線源の軌道は円周であり、画像再構成法はFDK法である。X線源の軌道が円周の場合、回転を必要とし、特定な分野において適用できないケースがある。また、自動検査などを行う際に実装が複雑になり、コストダウンの実現が難しくなる。本研究では、簡単に実装できる直線軌道の並進打装置を提案し、それに応じた画像再構成法も提案する。実験の結果、並進移動でも対象物体の3次元情報がよく得られることが分かる。筆者らは、平らな電子部品などを検査する自動ラインにおいて、並進CT装置が役に立つことを期待している。