AFMナノリソグラフィを用いた磁性薄膜の磁区構造·磁気異方性の制御の検討

摘要

ナノスケールの微細構造を作製する手段として、原子間力顕微鏡(AFM)局所酸化法がある。 探針と金属薄膜間にバイアス電圧をかけることにより大気中の水分を介した陽極酸化反応を生じさせ、金属薄膜に微小な酸化物を形成するものである。この手法では選択的に金属平面内を酸化することが可能であり、カンチレバーのスキャンを制御することで、面内に任意の酸化物細線を直接作製することができる。 我々はこの手法を強磁性金属に適応し、磁性ナノ構造の作製を試みている。