リン酸中で生成したアノード酸化ポーラスアルミナのセル形態に及ぼす電解因子の影響

摘要

アルミニウム（Al）を酸性またはアルカリ性電解液でアノード酸化すると直管状の孔を持つポーラスアルミナ皮膜が生成する。著者らはアノード酸化ポーラスアルミナのバリア層を皮膜裏面から化学溶解した際のスルーホール過程から，配列の規則性とセル径,バリア層の厚さの関係について検討し，定電圧条件で作製した皮膜でもバリア層厚さは均一ではなく，その厚さはセル径に依存するバリア層の電場強度に強く影響を受けることを報告した。本研究では，高電圧が印加できるリン酸電解液を用い，皮膜のセル形態及びアニオン混入挙動に関して電場強度の観点から電解因子の影響を明らかにすることを目的とした。