陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリントプロセスにもとづくナノ規則表面の形成

摘要

ナノインプリントプロセスはナノメータースケールの凹凸パターンを一括形成可能な手法として関心を集めている．我々のグループではこれまでに，ナノホールアレ一構造材料である陽極酸化ポーラスアルミナをチノインプリントの金型として用いることにより，ポリマーや無機材料からなる規則構造の形成が可能であることを報告してきた．本報告では．陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリントプロセスを光硬化可能な高屈折率材料である有機·無機ハイブリッド材料に適用し，ナノピラーアレーの形成について検討を行なった結果を示す．光硬化可能な材料に構造転写を行う光インプリントプロセスでは．高スループットなナノ構造の形成が期待できる．