DLC膜の標準化最新動向と産業応用

摘要

様々なDLC膜の中から用途に対して最適 な選択をするためには.定義や分類方法が 明確化され.確立された評価币順により比 較検討を行う必要がある.2009年度から本 格的に開始された国際標準化への取り組み は，現在まで一般社団法人ニューダイヤモ ンドフオーラムを中心に行われてきた.こ れまで扱ってきたテーマとしては，カーボ ン膜（DLC膜を含む）の分類，DLC膜の摩擦摩耗試験，DLC膜の光学特性評価法であ る.2017年度より密着性評価もテーマに加 え，更なる規格の整備に取り組hでいる.こ れらDLC膜に関する国際規格案は，ISO/ TC107 (金属および無機質被膜）において提 案され審議されてきた.2017年1月16日か ら20日には，第29回のISO/TC107の国際会 議が，日本（柏の葉カンファレンスセン夕一 〈千葉県柏市〉）で開催された.さらに2018 年1月23日からフインランドのラップラン平地方の Congress & Exhibition centre Levi Summitで，第30回のISO/TC107が開催さ れた（図1 ).