ポイントオートフォーカス式による三次元表面性状測定

摘要

加工部品の表面性状（Surface texture）を評価するパラメータは輪郭曲線方式（2D）を用いているのが一般的だが，部品の小型化／高精度化が進む昨今，より明確な表面状態が評価できる三次元（3D）の表面性状測定と評価の需要が増している。そのような背景の中，三次元表面性状の規格化がISO（国際標準化機構）／TC213のグループにより進められており，弊社は国内対策委員として規格化の制定に参加してきた。ここではその三次元表面性状測定法とパラメータについて具体的な測定事例を交えて解説する。