ポイントオートフォーカス法による光学素子の表面形状測定

摘要

超精密金型による非球面レンズやマイクロレンズ，液晶導光板などの量産が始まり，まだ10数年と短い歴史の中で光学素子の需要は画像や情報をより高鮮明，高速に伝えるキーパーツとしてますます高まっている．またそれらの部品にはサブμmレベルから数十nmの形状誤差が要求され精密な形状測定器が必須となっている．これらの測定には一般的に抵触圧の接触式輪郭形状測定機が用いられているが小型化，高精度化が求められる近年，非接触測定の要求が増している．非接触測定において平面や球面の表面形状を測定する手段としてニュートンリングを利用した干渉計が使われているが，球面からかけ離れている非球面形状においては球面波との比較が困難である．このような中で“ポイントオートフォーカス法”は非球面レンズ形状測定を容易かつ高精度に行える測定法として利用されている．また傾斜面やエッジ部の測定が高精度にできるため液晶導光板や回折格子などの光学素子の形状測定に有効である．