半導体製造装置における直動案内機器の真空·クリーン対応技術

摘要

半導体の製造には数多くの工程があり、製造装置も多種多様なものがある。 したがって、それらの装置に使用される直動要素·機器に要求される機能も、高速、高加減速、高精度、長寿命（メンテナンスフリー）、特殊環境対応（真空環境、クリーン環境）など、多岐にわたっている。 近年、液晶に代表される薄型テレビの発展は著しく、これらの製造装置においても同様な機能が要求されている。 本稿では、これらの中でも近年要求の強いメンテナンスフリー、真空、クリーン対応技術について、筆者らの取組みを紹介する。