半導体製造プロセス：半導体製造装置における直動転がり案内の技術動向

摘要

半導体の製造には数多くの工程があり、製造装置にも多種多様のものがある。 そして、それらの装置に使用される直動案内に課せられる機能も、高速、高加減速、高精度、長寿命、メンテナンスフリー、低振動、低騒音、真空環境、クリーン環境への対応などと多岐にわたっている。本稿では、これらの中でも近年特に高い要求が寄せられている真空環境および高精度化への対応に的を絞って、直動転がり案内のメーカーとしての取組みについて紹介する。