光コムによる絶対距離測定と三次元計測技術

摘要

光コムは，長さの定義としてだけでなく，直接的に長さの絶対計測に利用することができる。光コムを利用した絶対計測は，直接的にトレーサビリティを確保することができ，標準としても優れている。これまでにも，パルスレーザの特性を生かした絶対計測の研究が行われている。松本らは，3m のパルス間隔を持つ光コムを利用して，400mの非常に長い距離を10μm程度の精度で絶対測定を行っている心。本解説では，光コムを利用したパルス干渉計の原理と，三次元座標測定機の精度評価への応用について説明する。