綜研化学、ナノインプリント用モールドの大面積化技術を確立、4月にA2サイズまでの提供へ

摘要

綜研化学は、半導体分野で用いられている「ステップ＆リピート方式」をナノインプリント技術に応用することで、ナノインプリント用モールドの大面積化技術を確立した。ナノインプリント技術を用いて微細加工を施す場合、通常モールドと呼ばれる成形用の金型が必要となる。モールドは複製することが可能だが、その基となるマスターモールドは製造技術の問題から形状面積が8インチ程度に制限されており、ナノインプリント技術は、活躍の分野が限られたものになっていた。