超短パルスレーザによる微細孔加工に関する研究

摘要

現在、高付加価値加工技術の精密微細加工分野の市場が急速に成長する中、特に微細孔加工分野において微細化が進む中、従来工法の代替工法として、レーザ加工への関心が高まっている。従来の微細孔加工工法として、電気加工及び切削加工、または、精密プレスによるパンチングなどの工法があるが、『工具の材質及び、精度による限界』『工法による対応材質の限界』『工具製作の限界及び、製法による形状自由度が少ない』等の問題がある。よって、汎用性が高く、工具を必要とせず、材質対応範囲の広い、超短パルスレーザが最も可能性が高いと判断し、本稿では、①現行工法の問題点②開発レーザ発振器及び加工設備の紹介③加工実験内容と結果の順で紹介する。