シングルモードファイバーレーザによる精密微細溶接に関する研究—プルームによる溶接現象変化とアシストガスの効果—

摘要

シングルモードファイーバーレーザは元々通信機器用として開発されたが，近年高出力化が進hだことで加工用熱源としても利用可能となってきており1），その収束性と尚信横性も加わって，高集稗化エレクトロニクス回路，ラボ·オン·チップ，小型医療デバイスなどの製造プロセスで必要とされる精密微細加工技術に有効なツールとして期待が高まっている。