高周波電磁場を利用する超高温プラズマの基礎物性とその新材料創製への応用

摘要

近年，難処理廃棄物や環境汚染物質（フロン，窒素酸化物など）の分解，無害化処理と再利用,機能性薄膜·厚膜生成や微粒子生成などへの熱プラズマの適用が進められようとしている。 処理対象が濃度の低い（数千ppm程度）気体状物質の場合には，コロナ放電やグロー放電を用いた非平衡プラズマなどで処理できることが実験で明らかにされているが，大容量の高濃度（％オーダー）気体状物質の高速処理や固形物を溶融·分解するにほ，熱容量の大きい熱プラズマを用いる必要がある．最近では，高周波（RF）熱プラズマを用いたフロンの分解処理が商業プラントとして実用化されるまでに至っている．高周波誘導熱プラズマを工業·環境分野へ適用するためには∴電気工ネルギーから熱エネルギーへの変換効率が十分高いこと，熱プラズマの安定な生成と定常維持,プラズマトーチの機械·熱的耐久性などが要求される。現瓦高周波誘導熱プラズマを発生する手段としては，装置構成が比較的簡単なことから高周波真空管を用いた自助式電源が主流となっている.