大気圧非平衡プラズマの磁場による３次元的制御を利用した多孔質TiO_2層の作製と色素増感太陽電池への応用

摘要

本研究グループでは、大気圧非平衡二次元プラズマを利用した金属酸化物の製膜を行っている。前回、チタニウム(Ⅳ)テトライソプロポキシド(TTIP)を原料として、高窒素・低酸素濃度下における多孔質TiO_2層の作製、および色素増感太陽電池(DSSC)への応用を報告した。本研究では、プラズマに磁場を印加して3次元的な制御を行うことで、製膜時の基板への効率的なプラズマ照射を実現し、DSSCの高効率化を試みた。