プラズマ陽極酸化処理技術と皮膜特性

摘要

近年，プラズマを用いた陽極酸化処理（プラズマ陽極酸化処理）が注目されている．プラズマ陽極酸化処理は，従来の陽極酸化処理皮膜よりも高硬度なセラミックスの表面皮膜を得ることが可能であり，陽極酸化処理が困難な高Si含有アルミニウム合金にも処理が可能である．本報では，この新しい表面処理であるプラズマ陽極酸化処理について解説するとともに，プラズマ陽極酸化皮膜についての基礎特性とトライボロジー特性の評価結果を報告する．