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机译:通过使用具有沉积的硅层的原子层来改善低温多晶硅薄膜晶体管的长期稳定性
Seoul Natl Univ Dept Elect &
Comp Engn Seoul 08826 South Korea;
Han Yang Univ Dept Mat Sci &
Engn Seoul 04763 South Korea;
Seoul Natl Univ Dept Elect &
Comp Engn Seoul 08826 South Korea;
LTPS TFT; ELA; Poly-Si; ALD; NBTI;
机译:通过使用具有沉积的硅层的原子层来改善低温多晶硅薄膜晶体管的长期稳定性
机译:NO等离子体氮化提高了低温多晶硅薄膜晶体管栅极电介质的可靠性
机译:使用堆叠式等离子增强化学气相沉积SiO_2 / SiN_x栅极电介质增强多晶硅薄膜晶体管的稳定性
机译:用原子层沉积生长的SiO_2膜的特性作为低温多晶硅薄膜晶体管的栅极绝缘子
机译:用于金属绝缘体 - 硅水分裂细胞的原子层沉积的保护层
机译:具有稳健的Zn-O薄膜晶体管双层异质结构设计和低温制造工艺使用真空和溶液沉积层
机译:高性能短通道双栅极低温多晶硅薄膜晶体管使用准分子激光结晶
机译:pLZT上二氧化硅激光熔硅中多晶硅栅FET的制备