...
机译:SNR增强两个多晶硅工艺的差分MEMS麦克风的设计与实现
condenser microphone; differential sensing; trench-refilled; gap-closing; two polysilicon fabrication processes;
机译:SNR增强两个多晶硅工艺的差分MEMS麦克风的设计与实现
机译:MEMS麦克风的设计方法,提高性能
机译:MEMS麦克风的设计方法,提高性能
机译:使用两种多晶硅微加工工艺提高MEMS麦克风的带宽和SNR
机译:一类MEMS麦克风的控制器实现中的稳健性考虑:仿真研究。
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
机译:MEMS麦克风的设计方法,提高性能
机译:用于气动声学测量的mEms光学麦克风的设计与表征