机译:压电Aln-on-Si羊振波振荡器中锚固损耗和热弹性阻尼的数值分析
City Univ Hong Kong Dept Elect Engn Kowloon Hong Kong Peoples R China;
Politecn Milan Dept Civil &
Environm Engn Milan Italy;
Northeastern Univ Dept Elect &
Comp Engn Boston MA 02115 USA;
Politecn Milan Dept Civil &
Environm Engn Milan Italy;
City Univ Hong Kong Dept Elect Engn Kowloon Hong Kong Peoples R China;
microelectromechanical systems; piezoelectric-on-silicon; biconvex resonators; quality factor; anchor loss; thermoelastic damping; electrode effects;
机译:压电Aln-on-Si羊振波振荡器中锚固损耗和热弹性阻尼的数值分析
机译:导电流体载荷作用下压电板泄漏兰姆波的理论分析与数值计算
机译:压电复合材料IDT中产生兰姆波的数值分析
机译:使用锚固边界中的声子晶体形状的混合来提高AlN-on-Si兰姆波谐振器的品质因数
机译:微机械谐振器的热弹性耗散和锚固损耗的研究进展。
机译:基于柱的旋转晶体锚损减量减少羊毛波谐振器
机译:具有有限波速的纳米机械谐振器中的热弹性阻尼