anchor loss; MEMS resonator; phononic crystal; high quality factor;
机译:多级声子晶体结构,用于降低薄膜压电硅上微机电系统谐振器的锚固损耗
机译:基于声子晶体带的锚,用于减少微机械谐振器的锚损失
机译:平面环形声子晶体锚固边界,可提高Lamb模式谐振器的品质因数
机译:Matryoshka声子晶体,可减小Lamb波谐振器的锚固损耗
机译:晶体中声子和电子波的快速能带结构计算。
机译:宽声带隙固体盘形声子晶体锚固边界用于提高AlN-on-Si MEMS谐振器的品质因数
机译:固液基柱状声子晶体中界面声波的引导和限制