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机译:集成压电微机械振动平台,六度自由运动
Univ Elect Sci &
Technol China Sch Elect Sci &
Engn Chengdu 611731 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Microsyst &
Terahertz Res Ctr Chengdu 610299 Sichuan Peoples R China;
piezoelectric micromechanical vibration platform; six-degree-of-freedom motion; IMU integration; wafer-level MEMS process; large-range output;
机译:集成压电微机械振动平台,六度自由运动
机译:可编程五自由度运动平台的性能评估,可确保放射治疗中运动管理技术的质量
机译:一种多自由度压电振动能量收集器,其压电元件插入两个附近的振荡器之间
机译:使用6度自由的平台评估空间振动
机译:一个通用平台,用于产生从0到100 Hz的小规模6自由度振动。
机译:基于压电驱动的新型三自由度旋转振动辅助微抛光系统的研制
机译:球形碰撞压电转换器,用于从自主传感器的宽带低频振动中收集多自由度能量
机译:用于多自由度结构的非线性机械,谐振 - 压电和电子振动吸收器的性能