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压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析

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设计出用PDMS作为泵膜的压电驱动集成微阀与微泵.具有结构简单、易于加工、操作方便的特点,给出几何参数、工作的原理和工艺流程.

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来源
《第三届全国微全分析系统学术会议》|2005年|21-22|共2页
会议地点武汉
作者
耿照新; 崔大付; 王海宁; 刘长春; 陈兴;
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作者单位

中国化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类分析自动化;
关键词
微泵; 压电陶瓷; 聚二甲基硅氧烷; 驱动微阀;
入库时间 2022-08-17 10:56:48

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