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机译:热处理对磁控溅射非晶碳膜微观结构的影响
Anhui Polytech Univ Coll Text &
Garments Wuhu 241000 Anhui Peoples R China;
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Shinshu Univ Dept Mech Engn &
Robot Ueda Nagano 3868567 Japan;
Amorphous carbon; Microstructure; Heat treatment; Magnetron sputtered;
机译:热处理对磁控溅射非晶碳膜微观结构的影响
机译:沉积温度和非晶碳对磁控溅射纳米复合Cr-C薄膜结构和抗氧化性能的影响
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机译:磁控溅射法合成银-金刚石样碳薄膜
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:前体C2H2分数对磁控溅射沉积制备的含有Si和Ag的无定形碳复合膜微结构和性能的影响