H-7600透過電子顕微鏡における自動粒子検索システム

摘要

H-7600透過電子顕微鏡（以下TEM）ではTVシステムを標準装備し，オートフォーカス機能をはじめ，デジタル画像のサムネール表示や試料ステージのオートドライブ機能など数多くの便利な機能によって操作性の大幅な向上が図られている。TEMの観察試料は非常に微小なため，グリッド上の広汎な視野から目的の試料を探すには多くの時間がかかる。 そこで，検鏡作業の効率向上を目的として自動粒子検索システムを開発したので，その概要と応用例を紹介する。