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机译:通过反应离子等离子体溅射在GaAs(100)基板上产生的薄Aln薄膜的表面形貌和光学性质
St Petersburg State Electrotech Univ LETI St Petersburg 197022 Russia;
Russian Acad Sci Ioffe Phys Tech Inst St Petersburg 194021 Russia;
Univ Technol Troyes CNRS UMR 6281 Lab Nanotechnol &
Instrumentat Opt ICD Troyes France;
Univ Technol Troyes CNRS UMR 6281 Lab Nanotechnol &
Instrumentat Opt ICD Troyes France;
Russian Acad Sci Ioffe Phys Tech Inst St Petersburg 194021 Russia;
St Petersburg State Electrotech Univ LETI St Petersburg 197022 Russia;
机译:通过反应离子等离子体溅射在GaAs(100)基板上产生的薄Aln薄膜的表面形貌和光学性质
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