机译:碳化硅外延层的气相生长过程研究:Si-C-H-Cl体系中高温过程的热力学分析
epitaxial layers; vapor phase; silicon carbide; pyrolysis; thermodynamic equilibrium; high temperature processes;
机译:碳化硅外延层的气相生长过程研究:Si-C-H-Cl体系中高温过程的热力学分析
机译:电子束处理期间硅/碳化硅结构中界面相互作用过程的热力学分析
机译:硅基质上气相沉积的SI-C-H-CL体系中碳化硅的气态超饱和,成核过程与理化特性的相关性
机译:多孔6H碳化硅在碳化硅气相相扩散中的拉曼散射
机译:研究碳化硅的外延层和块状晶体的生长过程和缺陷形成。
机译:Fe-Al-C碳化物相纳米层研究作为外延金刚石生长的基质
机译:使用甲基三氯硅烷化学气相沉积在轴上碳化硅衬底上外延生长碳化硅
机译:硅,硅/锗和碳化硅的原子层外延通过提取/交换过程