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机译:用铝硬蚀刻面罩对“毛皮”残留物的“毛状”残留物
Delft Univ Technol Dept Microelect Delft Netherlands;
Delft Univ Technol Dept Microelect Delft Netherlands;
Eindhoven Univ Technol Dept Mech Engn Eindhoven Netherlands;
Delft Univ Technol Dept Microelect Delft Netherlands;
Polymers; Reactive ion etching; Sputtering; Residues; PI residues;
机译:用铝硬蚀刻面罩对“毛皮”残留物的“毛状”残留物
机译:在45 nm间距互连线上干蚀刻低K介电材料后去除锡硬掩模的蚀刻后残留清洗液的评估
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机译:锡硬掩模湿蚀刻和蚀刻残留物在BEOL中去除先进技术节点:材料沉积和蚀刻组成的影响(PPT)
机译:使用自由基阴离子化学去除碳氟化合物蚀刻后残留物。
机译:玻璃纤维后胶结后蚀刻漂洗和自蚀刻胶粘剂体系对树脂胶粘剂硬度均匀性的影响
机译:用铝硬蚀刻面罩对多酰亚胺干蚀刻后的“毛状”残留的研究
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