東京応化、福島·郡山工場でArFレジストを増産～今年9月稼働

摘要

東京応化工業は郡山工場（福島県郡山市）に生産ラインを新設し、ArF（フツ化アルゴン）レジストを増産する。総額10億円を投じ建設中で、2011年9月の稼働開始を予定している。郡山工場にクラス1万～10レベルのクリーンルームを設置し、新生産ラインを導入する。