三菱ケミカル等、G aN単結晶基板の新たな量産方法を開発

摘要

三菱ケミカルと東北大学多元物質科学研究所の秩父重英教授、日本製鋼所は共同で、窒 化ガリウム（G a N)単結晶基板の新たな量産法を開発した。同技術を使うと、反りがほと hどなく、モザイクも極めて少ない結晶性と、励起子による発光を呈する高純度なGaN が作製可能となる。