350°Cの高耐熱性能を持つ半導体製造装置用Oリングを開発

摘要

工業用ゴム製晶や樹脂製品の製造販売を行うエア·ウォーター·マッハ （本社..長野県松本市、都築康彦社長）は、350°Cの高耐熱性能を有する半導体製造装置用のOリングを開発した。新製品は18年9月からサンプル供給を開始し、19年1月より量産を行う予定だ。