SiH2Cl2ジクロロシラン前年比4％増の52t

摘要

ジクロロシラン(SiH2Cl2)の11年の需要量は、前年比3％減の1501になったとみられる。ここ数年は、比較的安定していたジクロロシランであるが、09年は、世界同時不況の影響もあり、同16．6％減と大幅な落ち込みを記録していた。10年は回復、160tと過去最高となった。ジクロロシランは、半導体向けでは減圧CVDプロセスの容量絶縁膜形成やゲート電極材料としてアンモニアと混合し用いられる。モノシランなどと同様に30年以上の歴史を持つ特殊材料ガスではあるが、技術的に確立しているため、新規用途は乏しい。