ダイヤモンドウエハ大量生産に有効なダイレクトウエハ法

摘要

ダイヤモンドデバイス、エレク守口ニクス実用化に向けて求められるのはダイヤモンドウエハの大量生産だ。しかし、ダイヤモンドは固く、容易にスライスできない。そこで、高品質なダイヤモンドウエハが大面積で安価に作製できる手法として考えられたのがダイレクトウエハ法である（図2参照）。