(S325)電子軌道計算による鉄鋼表面低加速SEM 像のコントラスト解釈

摘要

近年、低加速電圧走査電子顕微鏡(LV-SEM)による極表層の観察技術が注目されている。我々はこれまでSEM 観察条件を調整することで、鋼板表面の形状情報と組成情報の取り分けができることを報告してきたが[1]、これらのコントラスト形成機構については実験結果に基づく考察に留まっていた。今回は、異なる検出器を用いて得られる鉄鋼材料表面のSEM 像コントラストを理論的に解釈するため、SEM 内の電子軌道シミュレーションを実施した結果について報告する。